Puslaidininkinių plokštelių apdorojimo mašinų kasetinių šildytuvų pasirinkimas ir nustatymas

Puslaidininkinių plokštelių apdorojimo mašinų kasetinių šildytuvų pasirinkimas ir nustatymas
Puslaidininkinių plokštelių įrankiuose dėl nesutampančių šildytuvo matmenų arba netinkamo prigludimo dažnai atsiranda šiluminės netolygybės,-spartesnis nusidėvėjimas arba neplanuotos prastovos. Griežti erdvės apribojimai, griežti švaros standartai ir tikslios šiluminės reakcijos poreikis atkaitinimo, nusodinimo ir bandymo stotyse yra iššūkiai, su kuriais susiduria įrangos dizaineriai ir procesų inžinieriai.
Kadangi jo vieno{0}}galio vamzdinė konstrukcija telpa į tiksliai išgręžtas skylutes metaliniuose blokuose, griebtuvuose ar krosnies sienelėse, kasetinis šildytuvas yra naudingas sprendimas. Kasetinis šildytuvas gali turėti didelį galios tankį ir užimti labai mažai vietos dėl skersmens galimybių, kurios prasideda nuo kelių milimetrų. Elektrinę izoliaciją ir efektyvų radialinį šilumos perdavimą į išorinį apvalkalą užtikrina nikelio-chromo viela, apvyniota aplink keraminę šerdį ir aptraukta sutankintu didelio -grynumo magnio oksidu.
Klimatas turi įtakos renkantis kasetinio šildytuvo apvalkalo medžiagą: Vakuuminiam atkaitinimui esant artimai 1000 laipsnių temperatūrai naudokite Inconel; purškimui ir klijavimui žemesnėje temperatūroje naudokite 316L nerūdijantį plieną. Daugelyje puslaidininkių vatų tankis paprastai išlieka 5-7 W/cm² srityje, kad būtų subalansuotas ilgas tarnavimo laikas ir greitas įkaitimas. Uždaros grandinės valdymas, išlaikantis nustatytas vertes pagal griežtus leistinus nuokrypius, yra įmanomas dėl integruotų arba gretimų termoporų.
Gręžimo paruošimas yra pirmasis tinkamo įrengimo žingsnis. Dėl daugiau nei kelių dešimtųjų milimetro tarpo susidaro izoliaciniai oro tarpai, dėl kurių kasetinis šildytuvas veikia šilčiau nei numatyta, o tai sumažina jo tarnavimo laiką. Sąsaja užpildoma, o laidumas pagerinamas švelniu prispaudimu arba terminiu junginiu. Švino orientacija turi užkirsti kelią įtempimui išvykimo taške; vientisumas palaikomas naudojant vakuuminius-sandarius ir įtempimą{4}}mažinančias jungtis. Būtinas drėgmės pašalinimas; sausas sandėliavimas ir prieš montavimą iškepimas-sustabdo magnio oksido dielektrinės savybės.
Remiantis lauko stebėjimais, kelių zonų dizainas su nepriklausomu kiekvienos kasetės šildytuvo galios reguliavimu kompensuoja didelių plokštelių kraštų poveikį ir užtikrina pažangiems mazgams reikalingą homogeniškumą. Jei nepaisoma apvalkalo paviršiaus apdailos, gali atsirasti dalelių; elektropoliruoti arba specialiai nuvalyti paviršiai sumažina šią galimybę. Minkštos-paleidimo rampos valdikliai sumažina šiluminį šoką pirmą-įjungus.
Stabilus,{0}}ilgalaikis šiluminis efektyvumas pasiekiamas atkreipiant dėmesį į šiuos įrengimo ir pasirinkimo veiksnius. Individualūs skylių modeliai ir galios paskirstymas yra būtini įvairiems proceso įrankiams ir plokštelių formatams; Profesionalus kasetinių šildytuvų sistemos dizainas garantuoja geriausią puslaidininkių gamybos nustatymų pritaikymą ir patikimumą.